Продукция и услуги

Стандартный образец состава искусственной газовой смеси, содержащей химически активные газы (ХА-ВНИИМ-ЭС)

ГСО 10774-2016

Определяемый компонентИнтервал допускаемых аттестованных значений (% мол.) Относительная расширенная неопределенность (U)* при коэффициенте охвата k=2 (%)*
Арсин (AsH3),
Хлор (Cl2),
Хлористый водород (HCl),
Трифторид азота (NF3),
Аммиак (NH3),
Оксид азота (NO),
Оксид углерода (CO),
Диоксид углерода (CO2),
Кислород (O2),
Сероводород (H2S),
Диоксид серы (SO2)
от 0.00000010 до 0.00001060
св. 0.000010 до 0.000052.5
св. 0.00005 до 0.000101.2
св. 0.00010 до 0.00101
св. 0.0010 до 0.0100.6
св. 0.010 до 0.100.5
св. 0.10 до 10.25
св. 1 до 100.2
св. 10 до 200.15
св. 20 до 500.07
св. 50 до 700.05
св. 70 до 900.025
св. 90 до 990.0012
св. 99 до 99.90.0025
Фтор (F2)от 0.00000010 до 0.00001060
св. 0.000010 до 0.000052.5
св. 0.00005 до 0.000101.2
св. 0.00010 до 0.00101
св. 0.0010 до 0.0100.6
св. 0.010 до 0.100.5
св. 0.10 до 10.25
св. 1 до 100.2
св. 10 до 200.15
Фтористый водород (HF),
Фосфин (PH3),
Моносилан (SiH4)
от 0.00000010 до 0.00001060
св. 0.000010 до 0.000052.5
св. 0.00005 до 0.000101.2
св. 0.00010 до 0.00101
св. 0.0010 до 0.0100.6
св. 0.010 до 0.100.5
св. 0.10 до 10.25
св. 1 до 100.2
Карбонилхлорид (COCl2)от 0.00000010 до 0.00001060
св. 0.000010 до 0.000052.5
св. 0.00005 до 0.000101.2
св. 0.00010 до 0.00101
св. 0.0010 до 0.0100.6
св. 0.010 до 0.100.5
св. 0.10 до 10.25
св. 1 до 50.2
Диоксид азота (NO2),
Хлорид кремния (SiCl4)
от 0.00000010 до 0.00001060
св. 0.000010 до 0.000052.5
св. 0.00005 до 0.000101.2
св. 0.00010 до 0.00101
св. 0.0010 до 0.0100.6
св. 0.010 до 0.100.5
св. 0.10 до 10.25
Цианистый водород (HCN)от 0.00000010 до 0.00001060
св. 0.000010 до 0.000052.5
св. 0.00005 до 0.000101.2
св. 0.00010 до 0.00101
св. 0.0010 до 0.0100.6
св. 0.010 до 0.050.5
Формальдегид (CH2O)от 0.00000010 до 0.00001060
св. 0.000010 до 0.000052.5
св. 0.00005 до 0.000101.2
св. 0.00010 до 0.00101
Аргон (Ar),
Метан (CH4),
Водород (H2),
Гелий (He),
Азот (N2),
Синтетический воздух (air)
от 0.00000010 до 0.00001060
от 0.1 до 10.25
св. 1 до 100.2
св. 10 до 200.15
св. 20 до 500.07
св. 50 до 700.05
св. 70 до 900.025
св. 90 до 990.0012
св. 99 до 99.90.0025

* – соответствует границам относительной погрешности при доверительной вероятности (P=0.95)

Интервал допускаемых аттестованных значений СО
(молярная доля, %)
Допускаемое относительное отклонение
не более ±Д, %
от 0.00000001 до 0.00001100
св. 0.00001 до 0.0000530
св. 0.00005 до 0.000120
св. 0.0001 до 0.00115
св. 0.001 до 0.0110
св. 0.01 до 0.110
св. 0.1 до 15
св. 1 до 104
св. 10 до 202
св. 20 до 502
св. 50 до 702
св. 70 до 901
св. 90 до 990.5
св. 99 до 99.90.05
© ВНИИМ, 2009-2017
При цитировании материалов ссылка на сайт
fhi.vniim.ru обязательна